产品介绍 / 电化学传感器 / 半导体行业制程气体监控_氰化氢传感器_氯化氢传感器_辐射检测--盛密科技（上海）有限公司

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产品介绍

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产品列表

4SM系列PH3-2传感器

量程：0 ~ 2 ppm
最大荷载：2 ppm
灵敏度 (20°C)：0.6 ± 0.2 μA/ppm
响应时间 (T90)：≤ 75 s
基线 (20°C)：< ±0.2 μA
分辨率：< 0.015 ppm
线性度：线性
偏压：0 mV

4SM系列SiH4-20传感器

量程：0 ~ 20 ppm
最大荷载：50 ppm
灵敏度 (20°C)：0.18 ± 0.07 μA/ppm
响应时间 (T90)：≤ 70 s
基线 (20°C)：< ±0.2 μA
分辨率：< 0.02 ppm
线性度：线性
偏压：0 mV

4SM系列NO-100传感器

量程：0 ~ 100 ppm
最大荷载：200 ppm
灵敏度 (20°C)：0.4 ± 0.1 μA/ppm
响应时间 (T90)：≤ 30 s
基线 (20°C)：< ±1.4 μA
分辨率：0.1 ppm
线性度：线性
偏压：+300 mV

4SM系列O2-LF传感器

量程：0 ~ 25% vol氧
最大荷载：30% vol氧
输出信号 (20°C)：-100 ± 20 μA (空气中)
响应时间 (T90)：≤ 15 s
基线 (20°C)：±0.5% vol氧
分辨率：0.1% vol氧
线性度：S=K loge(1/1-C)
偏压：-600 mV

4SM系列HF-5传感器

量程：0 ~ 5 ppm
最大荷载：10 ppm
灵敏度：-0.5 ± 0.2 μA/ppm
响应时间 (T90)：≤ 140 s
基线 (20°C)：< ±0.2 μA
分辨率：0.015 ppm
线性度：线性
偏压：0 mV

4SM系列NH3-100传感器

量程：0 ~ 100 ppm
最大荷载：200 ppm
灵敏度：0.035 ± 0.015 μA/ppm
响应时间 (T90)：≤ 75 s
基线 (20°C)：< ±0.4 μA
分辨率：0.1 ppm
线性度：线性
偏压：0 mV

4SM系列CO-100传感器

量程：0 ~ 100 ppm
最大荷载：200 ppm
灵敏度：0.075 ± 0.020 μA/ppm
响应时间 (T90)：≤ 15 s
基线 (20°C)：< ±0.2 μA
分辨率：0.1 ppm
线性度：线性
偏压：0 mV

4SM系列TEOS-50传感器

量程：0 ~ 50 ppm
最大荷载：100 ppm
灵敏度：0.85 ± 0.40 μA/ppm
响应时间 (T90)：≤ 120 s
基线：-0.2 ~ 2.5 μA
分辨率：0.1 ppm
线性度：线性
偏压：+300 mV

4SM系列H2S-50传感器

量程：0 ~ 50 ppm
最大荷载：100 ppm
灵敏度：1.25 ± 0.25 μA/ppm
响应时间 (T90)：≤ 25 s
基线：< ±0.2 μA
分辨率：0.01 ppm
线性度：线性
偏压：0 mV

4SM系列HCL-10传感器

量程：0 ~ 10 ppm
最大荷载：20 ppm
灵敏度：-0.55 ± 0.15 μA/ppm
响应时间 (T90)：≤ 140 s
基线：< ±0.2 μA
分辨率：0.01 ppm
线性度：线性
偏压：0 mV

4SM系列SO2-20传感器

量程：0 ~ 20 ppm
最大荷载：40 ppm
灵敏度：0.4 ± 0.1 μA/ppm
响应时间 (T90)：≤ 60 s
基线：< ±0.2 μA
分辨率：0.01 ppm
线性度：线性
偏压：0 mV

4SM系列CL2-5传感器

量程：0 ~ 5 ppm
最大荷载：10 ppm
灵敏度：-0.75 ± 0.20 μA/ppm
响应时间 (T90)：≤ 45 s
基线：< ±0.2 μA
分辨率：0.008 ppm
线性度：线性
偏压：0 mV

共 1页12条记录